传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2003年
3期
25-26,29
,共3页
硅微桥%风向%风速%传感器
硅微橋%風嚮%風速%傳感器
규미교%풍향%풍속%전감기
阐述了微型风速风向传感器的工作原理,结构设计及工艺研究,该传感器采用硅微机械加工技术制成微悬桥结构,将加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上,降低了功耗,提高了传感器灵敏度,实现低风速风场测量.
闡述瞭微型風速風嚮傳感器的工作原理,結構設計及工藝研究,該傳感器採用硅微機械加工技術製成微懸橋結構,將加熱電阻器與感溫電阻器排佈在懸橋上,降低瞭功耗,提高瞭傳感器靈敏度,實現低風速風場測量.
천술료미형풍속풍향전감기적공작원리,결구설계급공예연구,해전감기채용규미궤계가공기술제성미현교결구,장가열전조기여감온전조기배포재현교상,강저료공모,제고료전감기령민도,실현저풍속풍장측량.
