兰州大学学报(自然科学版)
蘭州大學學報(自然科學版)
란주대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF LANZHOU UNIVERSITY
2001年
4期
36-41
,共6页
Co-Ta-O颗粒膜%磁电阻%隧道效应
Co-Ta-O顆粒膜%磁電阻%隧道效應
Co-Ta-O과립막%자전조%수도효응
利用射频共溅射方法制备了一系列Co-Ta-O介质颗粒膜,用X射线能量色散谱和X射线光电子谱分析了薄膜的成分和元素价态,用X射线衍射测量了薄膜的晶体结构.结果表明,Co-Ta-O颗粒膜系是由Co颗粒镶嵌在非晶的氧化钽绝缘介质中而形成.通过改变制备条件,研究了溅射电压和Co成分对颗粒膜隧道磁电阻效应的影响.发现磁电阻比值先随Co成分的增加而增加,在Co原子个数比为26%时达最大值,后随Co成分的进一步增加而减小;在Co成分一定的情况下,低的溅射电压有利于获得大的隧道磁电阻比值.
利用射頻共濺射方法製備瞭一繫列Co-Ta-O介質顆粒膜,用X射線能量色散譜和X射線光電子譜分析瞭薄膜的成分和元素價態,用X射線衍射測量瞭薄膜的晶體結構.結果錶明,Co-Ta-O顆粒膜繫是由Co顆粒鑲嵌在非晶的氧化鐽絕緣介質中而形成.通過改變製備條件,研究瞭濺射電壓和Co成分對顆粒膜隧道磁電阻效應的影響.髮現磁電阻比值先隨Co成分的增加而增加,在Co原子箇數比為26%時達最大值,後隨Co成分的進一步增加而減小;在Co成分一定的情況下,低的濺射電壓有利于穫得大的隧道磁電阻比值.
이용사빈공천사방법제비료일계렬Co-Ta-O개질과립막,용X사선능량색산보화X사선광전자보분석료박막적성분화원소개태,용X사선연사측량료박막적정체결구.결과표명,Co-Ta-O과립막계시유Co과립양감재비정적양화단절연개질중이형성.통과개변제비조건,연구료천사전압화Co성분대과립막수도자전조효응적영향.발현자전조비치선수Co성분적증가이증가,재Co원자개수비위26%시체최대치,후수Co성분적진일보증가이감소;재Co성분일정적정황하,저적천사전압유리우획득대적수도자전조비치.
