固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2001年
3期
361-365
,共5页
吴彩云%季小兵%范叔平%周咏东%褚君浩%王康杰
吳綵雲%季小兵%範叔平%週詠東%褚君浩%王康傑
오채운%계소병%범숙평%주영동%저군호%왕강걸
BaTiO3薄膜%射频磁控溅射%扫描电镜%介电特性
BaTiO3薄膜%射頻磁控濺射%掃描電鏡%介電特性
BaTiO3박막%사빈자공천사%소묘전경%개전특성
用射频磁控溅射方法制备了BaTiO3(BT)薄膜.用扫描电镜(SEM)观察了BaTiO3薄膜表面形貌、截面结构.电子探针分析表明样品具有良好的组份均匀性.介电特性研究表明材料同样具有较好的微结构.
用射頻磁控濺射方法製備瞭BaTiO3(BT)薄膜.用掃描電鏡(SEM)觀察瞭BaTiO3薄膜錶麵形貌、截麵結構.電子探針分析錶明樣品具有良好的組份均勻性.介電特性研究錶明材料同樣具有較好的微結構.
용사빈자공천사방법제비료BaTiO3(BT)박막.용소묘전경(SEM)관찰료BaTiO3박막표면형모、절면결구.전자탐침분석표명양품구유량호적조빈균균성.개전특성연구표명재료동양구유교호적미결구.
