微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2001年
1期
18-21
,共4页
陈思乡%易新建%陈四海
陳思鄉%易新建%陳四海
진사향%역신건%진사해
二元光学%亚波长结构%衍射微透镜
二元光學%亞波長結構%衍射微透鏡
이원광학%아파장결구%연사미투경
分析了基于标量衍射理论的位相型衍射微透镜的光学行为,结合等效媒质理论提出了二元衍射微透镜的一种新的亚波长结构近似设计方法。根据标量理论位相量化的概念,分析连续浮雕透镜的相移函数,结合等效媒质理论的等效折射率表达式,可以确定亚波长结构透镜的面型函数。
分析瞭基于標量衍射理論的位相型衍射微透鏡的光學行為,結閤等效媒質理論提齣瞭二元衍射微透鏡的一種新的亞波長結構近似設計方法。根據標量理論位相量化的概唸,分析連續浮彫透鏡的相移函數,結閤等效媒質理論的等效摺射率錶達式,可以確定亞波長結構透鏡的麵型函數。
분석료기우표량연사이론적위상형연사미투경적광학행위,결합등효매질이론제출료이원연사미투경적일충신적아파장결구근사설계방법。근거표량이론위상양화적개념,분석련속부조투경적상이함수,결합등효매질이론적등효절사솔표체식,가이학정아파장결구투경적면형함수。
The optical behavior of the phase diffractive microlens isanalyzed based on the scalar diffractive theory and the new approximate design method for binary diffractive microlens with subwavelength structure by the effective medium theory is presented. The phase-shift function of continuous surface-relief lens is discussed according to the concept ofquantified phase of scalar theory ,and then the surface function of the lens with subwavelength structures can be determined by the effective refraction expression of the effective medium theory.