Si-Ge粉粒在冷等离子体中沉降的提纯效应分析
Si-Ge분립재랭등리자체중침강적제순효응분석
Purity Effect Analysis of SiGe Particulates Drop in Cold Plasma
  • 万方数据
    半导体技术 반도체기술
    SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
    2000年 3期 43-46 ,共4页

    陶甫廷%王敬义%王宇%冯信华%罗文广%张巍%陈文辉

    도보정%왕경의%왕우%풍신화%라문엄%장외%진문휘

    沉降时间%冷等离子体%提纯效应 沉降時間%冷等離子體%提純效應
    침강시간%랭등리자체%제순효응
    本文论述了粉粒在等离子体中的影响,并利用所提供的受力和加速度模型,进行了具体计算.最后分析了沉降时间的各种影响因素和提纯效果.
    본문논술료분립재등리자체중적영향,병이용소제공적수력화가속도모형,진행료구체계산.최후분석료침강시간적각충영향인소화제순효과.
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