中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
1999年
1期
93-96
,共4页
赵建生%Choy K L%Teer D G
趙建生%Choy K L%Teer D G
조건생%Choy K L%Teer D G
磁控溅射%类金刚石薄膜%DLC%力学性能
磁控濺射%類金剛石薄膜%DLC%力學性能
자공천사%류금강석박막%DLC%역학성능
使用非平衡磁控溅射方法,以C2H2为反应气,C2F2为氟化气沉积了含氟和不含氟的类金刚石(DLC)薄膜.用X射线光电子谱仪(XPS)及Raman光谱仪分析薄膜的成分及结构.试验了薄膜的力学性能并讨论了组织结构对性能的影响.结果表明,含氟DLC仍具有典型的DLC的Raman光谱特性.氟降低薄膜中的I(D)/I(G)比率,使薄膜中的SP3键相对含量下降.随着氟含量的增加,DLC的硬度下降,摩擦系数减小.适当含量F元素可以提高薄膜划痕试验的临界负荷,增加薄膜与基体的结合强度.
使用非平衡磁控濺射方法,以C2H2為反應氣,C2F2為氟化氣沉積瞭含氟和不含氟的類金剛石(DLC)薄膜.用X射線光電子譜儀(XPS)及Raman光譜儀分析薄膜的成分及結構.試驗瞭薄膜的力學性能併討論瞭組織結構對性能的影響.結果錶明,含氟DLC仍具有典型的DLC的Raman光譜特性.氟降低薄膜中的I(D)/I(G)比率,使薄膜中的SP3鍵相對含量下降.隨著氟含量的增加,DLC的硬度下降,摩抆繫數減小.適噹含量F元素可以提高薄膜劃痕試驗的臨界負荷,增加薄膜與基體的結閤彊度.
사용비평형자공천사방법,이C2H2위반응기,C2F2위불화기침적료함불화불함불적류금강석(DLC)박막.용X사선광전자보의(XPS)급Raman광보의분석박막적성분급결구.시험료박막적역학성능병토론료조직결구대성능적영향.결과표명,함불DLC잉구유전형적DLC적Raman광보특성.불강저박막중적I(D)/I(G)비솔,사박막중적SP3건상대함량하강.수착불함량적증가,DLC적경도하강,마찰계수감소.괄당함량F원소가이제고박막화흔시험적림계부하,증가박막여기체적결합강도.
