核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
1999年
4期
213-217
,共5页
谢东珠%朱德彰%潘浩昌%曹德新%徐洪杰
謝東珠%硃德彰%潘浩昌%曹德新%徐洪傑
사동주%주덕창%반호창%조덕신%서홍걸
离子注入%α-Al2O3单晶%晶格损伤%表面改性
離子註入%α-Al2O3單晶%晶格損傷%錶麵改性
리자주입%α-Al2O3단정%정격손상%표면개성
研究了<0001>和<>晶向α-Al2O3单晶在高剂量的Y、Pt离子注入后产生的损伤,注入层的性能变化和退火行为.实验结果表明,在室温,171keV、1×1017/cm2Y离子注入的<>α-Al2O3单晶的表面层约有139nm厚被无定形化.而158keV、9×1017/cm2 Pt离子注入的<0001>α-Al2O3单晶的表面层不产生无定形,且实际离子注入进衬底的剂量只有2.65×1016/cm2,绝大部分在注入过程中被溅射掉.注入后其表面层的硬度提高了大约50%,表面层的电阻率降低了12个数量级.在空气中退火后形成了随机取向的纳米量级大小的Pt微晶,表面层的硬度也有所降低,但仍稍高于未注入的单晶硬度.
研究瞭<0001>和<>晶嚮α-Al2O3單晶在高劑量的Y、Pt離子註入後產生的損傷,註入層的性能變化和退火行為.實驗結果錶明,在室溫,171keV、1×1017/cm2Y離子註入的<>α-Al2O3單晶的錶麵層約有139nm厚被無定形化.而158keV、9×1017/cm2 Pt離子註入的<0001>α-Al2O3單晶的錶麵層不產生無定形,且實際離子註入進襯底的劑量隻有2.65×1016/cm2,絕大部分在註入過程中被濺射掉.註入後其錶麵層的硬度提高瞭大約50%,錶麵層的電阻率降低瞭12箇數量級.在空氣中退火後形成瞭隨機取嚮的納米量級大小的Pt微晶,錶麵層的硬度也有所降低,但仍稍高于未註入的單晶硬度.
연구료<0001>화<>정향α-Al2O3단정재고제량적Y、Pt리자주입후산생적손상,주입층적성능변화화퇴화행위.실험결과표명,재실온,171keV、1×1017/cm2Y리자주입적<>α-Al2O3단정적표면층약유139nm후피무정형화.이158keV、9×1017/cm2 Pt리자주입적<0001>α-Al2O3단정적표면층불산생무정형,차실제리자주입진츤저적제량지유2.65×1016/cm2,절대부분재주입과정중피천사도.주입후기표면층적경도제고료대약50%,표면층적전조솔강저료12개수량급.재공기중퇴화후형성료수궤취향적납미량급대소적Pt미정,표면층적경도야유소강저,단잉초고우미주입적단정경도.
