机械设计与研究
機械設計與研究
궤계설계여연구
MACHINE DESIGN AND RESEARCH
2003年
2期
44-45
,共2页
孙宝玉%林洁琼%王登月%任建岳
孫寶玉%林潔瓊%王登月%任建嶽
손보옥%림길경%왕등월%임건악
压电陶瓷微位移器件%精密定位%柔性铰链%线切割
壓電陶瓷微位移器件%精密定位%柔性鉸鏈%線切割
압전도자미위이기건%정밀정위%유성교련%선절할
研究、设计了一种压电式超精密微定位工作台.此工作台在伺服电机驱动的滚珠丝杠进给系统的基础上,采用压电陶瓷作为微位移驱动器,柔性铰链为导向机构,对工作台运动位置自动补偿,实现了超精密定位.文中对柔性铰链机构进行了合理的设计,以实现长行程超精密定位.压电陶瓷配合柔性铰链使用使工作台定位精度达到0.01μm,可满足精密、超精密加工需要.
研究、設計瞭一種壓電式超精密微定位工作檯.此工作檯在伺服電機驅動的滾珠絲槓進給繫統的基礎上,採用壓電陶瓷作為微位移驅動器,柔性鉸鏈為導嚮機構,對工作檯運動位置自動補償,實現瞭超精密定位.文中對柔性鉸鏈機構進行瞭閤理的設計,以實現長行程超精密定位.壓電陶瓷配閤柔性鉸鏈使用使工作檯定位精度達到0.01μm,可滿足精密、超精密加工需要.
연구、설계료일충압전식초정밀미정위공작태.차공작태재사복전궤구동적곤주사강진급계통적기출상,채용압전도자작위미위이구동기,유성교련위도향궤구,대공작태운동위치자동보상,실현료초정밀정위.문중대유성교련궤구진행료합리적설계,이실현장행정초정밀정위.압전도자배합유성교련사용사공작태정위정도체도0.01μm,가만족정밀、초정밀가공수요.
