CAJ | 학술논문

在高溅射功率900 W下用RF磁控溅射方法制备了厚为630-780 nYn的Fe Ti-N薄膜.结果表明:当膜成分(原子分数,%,下同)在Fe-3.9Ti-8.8N和Fe-3.3Ti-13.5N范围内,薄膜由α＇和Ti2N沉淀组成,磁化强度4πMs超过纯铁,最高可达2.38 T;而矫顽力Hc下降为89 A/m,可以满足针对1.55 Gb/cm2高存储密度的GMR/感应式复合读写磁头中写入磁头的需要.N原子进入α-Fe使α＇具有高饱和磁化强度;Ti的加入,阻止α＇→α+γ＇的分解,稳定了强铁磁性相α＇,是Fe-Ti-N具有高饱和磁化强度的原因.由于由晶粒度引起的对Hc的影响程度HDc与晶粒度D有以下关系:HDc∝D6,晶粒度控制非常重要.N原子进入α-Fe点阵的八面体间隙,引起极大的畸变,使晶粒碎化.提高溅射功率也使晶粒度下降两者共同作用,能使晶粒度下降到约14 nm,使Hc下降.晶界是择优沉淀地点,在α＇晶界上沉淀Ti2N能起钉扎作用,阻止晶界迁移,使纳米晶α＇不能长大.薄膜的结构和Hc的稳定温度不低于520℃.
재고천사공솔900 W하용RF자공천사방법제비료후위630-780 nYn적Fe Ti-N박막.결과표명:당막성분(원자분수,%,하동)재Fe-3.9Ti-8.8N화Fe-3.3Ti-13.5N범위내,박막유α＇화Ti2N침정조성,자화강도4πMs초과순철,최고가체2.38 T;이교완력Hc하강위89 A/m,가이만족침대1.55 Gb/cm2고존저밀도적GMR/감응식복합독사자두중사입자두적수요.N원자진입α-Fe사α＇구유고포화자화강도;Ti적가입,조지α＇→α+γ＇적분해,은정료강철자성상α＇,시Fe-Ti-N구유고포화자화강도적원인.유우유정립도인기적대Hc적영향정도HDc여정립도D유이하관계:HDc∝D6,정립도공제비상중요.N원자진입α-Fe점진적팔면체간극,인기겁대적기변,사정립쇄화.제고천사공솔야사정립도하강량자공동작용,능사정립도하강도약14 nm,사Hc하강.정계시택우침정지점,재α＇정계상침정Ti2N능기정찰작용,조지정계천이,사납미정α＇불능장대.박막적결구화Hc적은정온도불저우520℃.