中国科学E辑
中國科學E輯
중국과학E집
SCIENCE IN CHINA (SERIES E)
2003年
1期
42-46
,共5页
吴瑜光%张通和%刘安东%张旭%周固
吳瑜光%張通和%劉安東%張旭%週固
오유광%장통화%류안동%장욱%주고
Si离子注入%摩擦特性%表面结构变化%聚合物表面强化机理
Si離子註入%摩抆特性%錶麵結構變化%聚閤物錶麵彊化機理
Si리자주입%마찰특성%표면결구변화%취합물표면강화궤리
采用MEVVA离子注入机引出的Si离子对聚酯薄膜(PET)进行了改性研究, 原子力显微镜观察表明, 注入后的聚酯膜表面比未注入PET更光滑. 用透射电子显微镜观察了注入聚酯膜的横截面表明, 注入层结构发生了明显的变化. 红外吸收测量揭示了Si-C和C-C的形成. 说明了碳化硅和碳颗粒的形成. 这些颗粒增强了注入层表面强化效果, 改善了表面导电特性 . 表面电阻率随注入量的增加而明显地下降. 当硅注入量为2×1017 cm-2时, PET表面电阻率小于7.9 -@m. 用纳米硬度计测量显示, Si离子注入可明显地提高聚酯膜表面硬度和杨氏模量. 表面硬度和杨氏模量分别比未注入PET时大12.5和2.45倍. 硅注入表面划痕截面比未注入PET的划痕窄而浅. 说明表面抗磨损特性得到了极大的增强. 最后讨论了Si离子注入聚酯膜改善特性的机理.
採用MEVVA離子註入機引齣的Si離子對聚酯薄膜(PET)進行瞭改性研究, 原子力顯微鏡觀察錶明, 註入後的聚酯膜錶麵比未註入PET更光滑. 用透射電子顯微鏡觀察瞭註入聚酯膜的橫截麵錶明, 註入層結構髮生瞭明顯的變化. 紅外吸收測量揭示瞭Si-C和C-C的形成. 說明瞭碳化硅和碳顆粒的形成. 這些顆粒增彊瞭註入層錶麵彊化效果, 改善瞭錶麵導電特性 . 錶麵電阻率隨註入量的增加而明顯地下降. 噹硅註入量為2×1017 cm-2時, PET錶麵電阻率小于7.9 -@m. 用納米硬度計測量顯示, Si離子註入可明顯地提高聚酯膜錶麵硬度和楊氏模量. 錶麵硬度和楊氏模量分彆比未註入PET時大12.5和2.45倍. 硅註入錶麵劃痕截麵比未註入PET的劃痕窄而淺. 說明錶麵抗磨損特性得到瞭極大的增彊. 最後討論瞭Si離子註入聚酯膜改善特性的機理.
채용MEVVA리자주입궤인출적Si리자대취지박막(PET)진행료개성연구, 원자력현미경관찰표명, 주입후적취지막표면비미주입PET경광활. 용투사전자현미경관찰료주입취지막적횡절면표명, 주입층결구발생료명현적변화. 홍외흡수측량게시료Si-C화C-C적형성. 설명료탄화규화탄과립적형성. 저사과립증강료주입층표면강화효과, 개선료표면도전특성 . 표면전조솔수주입량적증가이명현지하강. 당규주입량위2×1017 cm-2시, PET표면전조솔소우7.9 -@m. 용납미경도계측량현시, Si리자주입가명현지제고취지막표면경도화양씨모량. 표면경도화양씨모량분별비미주입PET시대12.5화2.45배. 규주입표면화흔절면비미주입PET적화흔착이천. 설명표면항마손특성득도료겁대적증강. 최후토론료Si리자주입취지막개선특성적궤리.
