半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2002年
12期
1303-1307
,共5页
邓晓清%杨沁清%王红杰%胡雄伟%王启明
鄧曉清%楊沁清%王紅傑%鬍雄偉%王啟明
산효청%양심청%왕홍걸%호웅위%왕계명
硅基二氧化硅波导%偏振补偿%双折射
硅基二氧化硅波導%偏振補償%雙摺射
규기이양화규파도%편진보상%쌍절사
使用有限元方法分析了硅基二氧化硅波导的两种偏振补偿方法的可行性.结果表明采用应力释放槽和调节上包层热膨胀系数都可改善波导的偏振相关性.采用应力释放槽可以释放波导中的由于硅衬底与二氧化硅热膨胀系数失配造成的压应力,可以影响芯区附近的应力分布,但是只有释放槽的深度达到一定值时才能改善波导的偏振相关性,增大槽的宽度也在一定程度改善偏振相关性,但效果较差.调节波导上包层的热膨胀系数可以很好的解决波导的偏振相关问题,而调节波导的其它层的热膨胀系数对波导的偏振相关作用较小.
使用有限元方法分析瞭硅基二氧化硅波導的兩種偏振補償方法的可行性.結果錶明採用應力釋放槽和調節上包層熱膨脹繫數都可改善波導的偏振相關性.採用應力釋放槽可以釋放波導中的由于硅襯底與二氧化硅熱膨脹繫數失配造成的壓應力,可以影響芯區附近的應力分佈,但是隻有釋放槽的深度達到一定值時纔能改善波導的偏振相關性,增大槽的寬度也在一定程度改善偏振相關性,但效果較差.調節波導上包層的熱膨脹繫數可以很好的解決波導的偏振相關問題,而調節波導的其它層的熱膨脹繫數對波導的偏振相關作用較小.
사용유한원방법분석료규기이양화규파도적량충편진보상방법적가행성.결과표명채용응력석방조화조절상포층열팽창계수도가개선파도적편진상관성.채용응력석방조가이석방파도중적유우규츤저여이양화규열팽창계수실배조성적압응력,가이영향심구부근적응력분포,단시지유석방조적심도체도일정치시재능개선파도적편진상관성,증대조적관도야재일정정도개선편진상관성,단효과교차.조절파도상포층적열팽창계수가이흔호적해결파도적편진상관문제,이조절파도적기타층적열팽창계수대파도적편진상관작용교소.
