物理学报
物理學報
물이학보
2002年
5期
1139-1143
,共5页
溶胶-凝胶法%多层膜%介电增强
溶膠-凝膠法%多層膜%介電增彊
용효-응효법%다층막%개전증강
采用溶胶-凝胶法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上逐层制备了BaTiO3/SrTiO3多层膜.从多层膜的XRD图可看出明显的双峰,分别对应为BaTiO3和SrTiO3的特征峰,表明样品已形成了多层膜结构.与同厚度的Ba0.5Sr0.5TiO3单层膜比较,BaTiO3/SrTiO3多层膜的介电系数得到了明显的增强,在频率为10kHz时,周期为66nm的BaTiO3/SrTiO3多层膜相对于同厚度的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的介电系数从245增强到595,而损耗依然保持较低,分别为0.029和0.033.研究同时表明,BaTiO3/SrTiO3多层膜与单层膜的介电频率色散程度、C-V特性和介电系数与温度的关系均略有不同.
採用溶膠-凝膠法,在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上逐層製備瞭BaTiO3/SrTiO3多層膜.從多層膜的XRD圖可看齣明顯的雙峰,分彆對應為BaTiO3和SrTiO3的特徵峰,錶明樣品已形成瞭多層膜結構.與同厚度的Ba0.5Sr0.5TiO3單層膜比較,BaTiO3/SrTiO3多層膜的介電繫數得到瞭明顯的增彊,在頻率為10kHz時,週期為66nm的BaTiO3/SrTiO3多層膜相對于同厚度的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的介電繫數從245增彊到595,而損耗依然保持較低,分彆為0.029和0.033.研究同時錶明,BaTiO3/SrTiO3多層膜與單層膜的介電頻率色散程度、C-V特性和介電繫數與溫度的關繫均略有不同.
채용용효-응효법,재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상축층제비료BaTiO3/SrTiO3다층막.종다층막적XRD도가간출명현적쌍봉,분별대응위BaTiO3화SrTiO3적특정봉,표명양품이형성료다층막결구.여동후도적Ba0.5Sr0.5TiO3단층막비교,BaTiO3/SrTiO3다층막적개전계수득도료명현적증강,재빈솔위10kHz시,주기위66nm적BaTiO3/SrTiO3다층막상대우동후도적Ba0.5Sr0.5TiO3박막적개전계수종245증강도595,이손모의연보지교저,분별위0.029화0.033.연구동시표명,BaTiO3/SrTiO3다층막여단층막적개전빈솔색산정도、C-V특성화개전계수여온도적관계균략유불동.
