微细线条加工中光刻精度的保证
미세선조가공중광각정도적보증
Guarantee for Lithographic Accuracy of Processing Superfine Line
  • 万方数据
    微处理机 미처리궤
    MICROPROCESSORS
    2002年 2期 23-26 ,共4页

    陈东石%王冬梅%路海林

    진동석%왕동매%로해림

    光刻%光刻精度%光刻胶 光刻%光刻精度%光刻膠
    광각%광각정도%광각효
    论述了光刻在集成电路生产中的重要性,讨论了各种行之有效的光刻精度的保证方法,并分析了进一步提高光刻精度的方法.
    논술료광각재집성전로생산중적중요성,토론료각충행지유효적광각정도적보증방법,병분석료진일보제고광각정도적방법.
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