无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2001年
6期
1259-1261
,共3页
纳米陶瓷%燃烧化学%沉积技术%α-Al2O3
納米陶瓷%燃燒化學%沉積技術%α-Al2O3
납미도자%연소화학%침적기술%α-Al2O3
提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法-燃烧化学沉积法.该方法省去了真空条件,直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜.其主要特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体.初始液体在火焰流中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基底上沉积出纳米陶瓷薄膜,然后再通过热处理进行晶化处理,使形成晶态相.本文以制备α-Al2O3纳米薄膜为例,介绍用该方法的制备过程,并用SEM和TEM分析了α-Al2O3纳米薄膜的显微形貌和结构.
提齣瞭沉積納米陶瓷薄膜的一種新方法-燃燒化學沉積法.該方法省去瞭真空條件,直接在空氣中沉積納米陶瓷薄膜.其主要特點是將配製好的初始液體霧化,讓該液霧穿過高溫火燄流體.初始液體在火燄流中髮生化學反應,併形成反應火燄流,該反應火燄流體繫在火燄流的前方基底上沉積齣納米陶瓷薄膜,然後再通過熱處理進行晶化處理,使形成晶態相.本文以製備α-Al2O3納米薄膜為例,介紹用該方法的製備過程,併用SEM和TEM分析瞭α-Al2O3納米薄膜的顯微形貌和結構.
제출료침적납미도자박막적일충신방법-연소화학침적법.해방법성거료진공조건,직접재공기중침적납미도자박막.기주요특점시장배제호적초시액체무화,양해액무천과고온화염류체.초시액체재화염류중발생화학반응,병형성반응화염류,해반응화염류체계재화염류적전방기저상침적출납미도자박막,연후재통과열처리진행정화처리,사형성정태상.본문이제비α-Al2O3납미박막위례,개소용해방법적제비과정,병용SEM화TEM분석료α-Al2O3납미박막적현미형모화결구.
