光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2001年
6期
5-10
,共6页
阴晓俊%费书国%章月州%孔志坤
陰曉俊%費書國%章月州%孔誌坤
음효준%비서국%장월주%공지곤
膜厚均匀性%发射特性%蒸发源的旋转与倾斜
膜厚均勻性%髮射特性%蒸髮源的鏇轉與傾斜
막후균균성%발사특성%증발원적선전여경사
利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法.
利用有限元法模擬計算瞭鏇轉平麵夾具、鏇轉毬麵夾具、行星鏇轉毬麵夾具的膜厚均勻性,分析瞭均勻性的影響因素,指齣瞭工藝中的調整方法.
이용유한원법모의계산료선전평면협구、선전구면협구、행성선전구면협구적막후균균성,분석료균균성적영향인소,지출료공예중적조정방법.
