光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2001年
6期
558-559
,共2页
高劲松%孙连春%郑宣明%朱世栋%赵晶丽
高勁鬆%孫連春%鄭宣明%硃世棟%趙晶麗
고경송%손련춘%정선명%주세동%조정려
光刻%镀膜%金属网栅%电磁屏蔽%红外
光刻%鍍膜%金屬網柵%電磁屏蔽%紅外
광각%도막%금속망책%전자병폐%홍외
介绍了一种既高效透过红外光,同时又能有效屏蔽电磁干扰的金属网栅薄膜的基本原理和制备工艺.分析了网栅参数对其光学及电磁性能的影响.介绍了利用光刻和镀膜技术,在红外基片上制作线条宽度小于10 μm,周期约350 μm的金属网栅.
介紹瞭一種既高效透過紅外光,同時又能有效屏蔽電磁榦擾的金屬網柵薄膜的基本原理和製備工藝.分析瞭網柵參數對其光學及電磁性能的影響.介紹瞭利用光刻和鍍膜技術,在紅外基片上製作線條寬度小于10 μm,週期約350 μm的金屬網柵.
개소료일충기고효투과홍외광,동시우능유효병폐전자간우적금속망책박막적기본원리화제비공예.분석료망책삼수대기광학급전자성능적영향.개소료이용광각화도막기술,재홍외기편상제작선조관도소우10 μm,주기약350 μm적금속망책.
