掺氮类金刚石薄膜激光退火的Raman光谱研究
참담류금강석박막격광퇴화적Raman광보연구
Raman analysis of laser annealed amorphous nitrogen doped carbon film
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2001年 5期 473-474,477 ,共3页

    居建华%夏义本%张伟丽%王林军%史伟民%黄志明%李志锋%郑国珍%汤定元

    거건화%하의본%장위려%왕림군%사위민%황지명%리지봉%정국진%탕정원

    类金刚石薄膜%激光退火%拉曼光谱%热稳定性 類金剛石薄膜%激光退火%拉曼光譜%熱穩定性
    류금강석박막%격광퇴화%랍만광보%열은정성
    采用功率密度分别为300、750和1500W/mm2的氩离子激光器,对由射频等离子化学气相沉积(RF-CVD)法制备的掺氮类金刚石薄膜进行了激光退火处理.并用傅立叶红外吸收光谱和显微Raman等手段,对所得样品进行了研究.结果表明:C-N键比C-H键更为稳定,一方面氮原子的引入制约了C-H键的生成,在激光退火中减少了因C-H键分解而引起薄膜的石墨化;另一方面生成的C-N键不易受热分解;因此随着氮含量的增加,薄膜中C-N成分增加,从而提高了类金刚石薄膜的热稳定性.
    채용공솔밀도분별위300、750화1500W/mm2적아리자격광기,대유사빈등리자화학기상침적(RF-CVD)법제비적참담류금강석박막진행료격광퇴화처리.병용부립협홍외흡수광보화현미Raman등수단,대소득양품진행료연구.결과표명:C-N건비C-H건경위은정,일방면담원자적인입제약료C-H건적생성,재격광퇴화중감소료인C-H건분해이인기박막적석묵화;령일방면생성적C-N건불역수열분해;인차수착담함량적증가,박막중C-N성분증가,종이제고료류금강석박막적열은정성.
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