测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2004年
z3期
12-14
,共3页
莫邦燹%倪学文%项斌%朱晖%宁宝俊%张广勤
莫邦燹%倪學文%項斌%硃暉%寧寶俊%張廣勤
막방선%예학문%항빈%주휘%저보준%장엄근
MEMS电容传感器%微硅加速度计%开关电容放大器%电容测量
MEMS電容傳感器%微硅加速度計%開關電容放大器%電容測量
MEMS전용전감기%미규가속도계%개관전용방대기%전용측량
本文首先介绍了一种MEMS电容式微硅加速度计的结构和等效电路,阐述了开关电容放大器的工作原理和输出电压与电容的关系,重点讨论了用开关电容技术测量微硅加速度计小电容的方法.
本文首先介紹瞭一種MEMS電容式微硅加速度計的結構和等效電路,闡述瞭開關電容放大器的工作原理和輸齣電壓與電容的關繫,重點討論瞭用開關電容技術測量微硅加速度計小電容的方法.
본문수선개소료일충MEMS전용식미규가속도계적결구화등효전로,천술료개관전용방대기적공작원리화수출전압여전용적관계,중점토론료용개관전용기술측량미규가속도계소전용적방법.
