激光与光电子学进展
激光與光電子學進展
격광여광전자학진전
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
2007年
2期
17
,共1页
焦小瑾%闵长俊%王沛%明海
焦小瑾%閔長俊%王沛%明海
초소근%민장준%왕패%명해
表面等离子体%亚波长金属周期结构%远场透过增强%光刻
錶麵等離子體%亞波長金屬週期結構%遠場透過增彊%光刻
표면등리자체%아파장금속주기결구%원장투과증강%광각
研究了一种新型的有表面凹槽的亚波长金属光栅结构,通过改变表面凹槽填充物的折射率,可调控该结构的远场透射效率,在光学探测、生物传感等方面具有应用前景;结合金属波导理论,提出一种基于亚波长金属光栅波导结构的新型超分辨光刻方案,入射光波长为436 nm时,最高刻写分辨率可达34 nm.
研究瞭一種新型的有錶麵凹槽的亞波長金屬光柵結構,通過改變錶麵凹槽填充物的摺射率,可調控該結構的遠場透射效率,在光學探測、生物傳感等方麵具有應用前景;結閤金屬波導理論,提齣一種基于亞波長金屬光柵波導結構的新型超分辨光刻方案,入射光波長為436 nm時,最高刻寫分辨率可達34 nm.
연구료일충신형적유표면요조적아파장금속광책결구,통과개변표면요조전충물적절사솔,가조공해결구적원장투사효솔,재광학탐측、생물전감등방면구유응용전경;결합금속파도이론,제출일충기우아파장금속광책파도결구적신형초분변광각방안,입사광파장위436 nm시,최고각사분변솔가체34 nm.
