光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2007年
3期
140-144
,共5页
光学测量%圆度误差测量%单缝衍射%最小二乘法%曲线拟合
光學測量%圓度誤差測量%單縫衍射%最小二乘法%麯線擬閤
광학측량%원도오차측량%단봉연사%최소이승법%곡선의합
提出了一种全新的圆度误差光学自动测量方法.新方法基于单缝衍射原理,利用工件的圆度误差来改变衍射单缝的宽度,进而改变衍射条纹的间距.在测量单缝衍射中央明纹的宽度时,提出了用最小二乘法对测量到的衍射图像的光强分布进行二次曲线拟合,并由拟合得到的数学表达式,确定衍射暗条纹的精确位置.由导出的工件圆度误差与单缝衍射中央明纹宽度之间的关系,用最小二乘法对工件的圆度误差进行了评定.测量结果表明,新的圆度误差测量方法是可行的,圆度误差的相对不确定度小于1.4%,并且测量系统具有操作方便、精度高的优点,新方法也可应用于锥角、直线度误差等其它几何量的精密测量中.
提齣瞭一種全新的圓度誤差光學自動測量方法.新方法基于單縫衍射原理,利用工件的圓度誤差來改變衍射單縫的寬度,進而改變衍射條紋的間距.在測量單縫衍射中央明紋的寬度時,提齣瞭用最小二乘法對測量到的衍射圖像的光彊分佈進行二次麯線擬閤,併由擬閤得到的數學錶達式,確定衍射暗條紋的精確位置.由導齣的工件圓度誤差與單縫衍射中央明紋寬度之間的關繫,用最小二乘法對工件的圓度誤差進行瞭評定.測量結果錶明,新的圓度誤差測量方法是可行的,圓度誤差的相對不確定度小于1.4%,併且測量繫統具有操作方便、精度高的優點,新方法也可應用于錐角、直線度誤差等其它幾何量的精密測量中.
제출료일충전신적원도오차광학자동측량방법.신방법기우단봉연사원리,이용공건적원도오차래개변연사단봉적관도,진이개변연사조문적간거.재측량단봉연사중앙명문적관도시,제출료용최소이승법대측량도적연사도상적광강분포진행이차곡선의합,병유의합득도적수학표체식,학정연사암조문적정학위치.유도출적공건원도오차여단봉연사중앙명문관도지간적관계,용최소이승법대공건적원도오차진행료평정.측량결과표명,신적원도오차측량방법시가행적,원도오차적상대불학정도소우1.4%,병차측량계통구유조작방편、정도고적우점,신방법야가응용우추각、직선도오차등기타궤하량적정밀측량중.
