传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
2期
211-214
,共4页
表面等离子体共振%光纤传感器%折射率%共振波长
錶麵等離子體共振%光纖傳感器%摺射率%共振波長
표면등리자체공진%광섬전감기%절사솔%공진파장
针对光纤SPR(表面等离子体共振)传感器制作工艺复杂的问题,提出了一种光纤先固定后部分镀膜的SPR传感芯片的制作方法.依据电磁场和射线理论,分析并讨论了此种波长调制部分镀膜SPR传感芯片的工作原理,采用MEMS制作工艺对探测光纤进行封装固定以后,再对光纤进行部分镀膜,其结构简单,工艺性好,易于实现批量化.最后,搭建了一套基、于波长检测的光纤SPR测试系统对其进行测试.实验结果表明:在折射率范围为1.33～1.36时,共振波长同折射率具有良好的线性关系,光谱仪分辨率为0.1 m时,其分辨率可达到3×10-5折射率单位.
針對光纖SPR(錶麵等離子體共振)傳感器製作工藝複雜的問題,提齣瞭一種光纖先固定後部分鍍膜的SPR傳感芯片的製作方法.依據電磁場和射線理論,分析併討論瞭此種波長調製部分鍍膜SPR傳感芯片的工作原理,採用MEMS製作工藝對探測光纖進行封裝固定以後,再對光纖進行部分鍍膜,其結構簡單,工藝性好,易于實現批量化.最後,搭建瞭一套基、于波長檢測的光纖SPR測試繫統對其進行測試.實驗結果錶明:在摺射率範圍為1.33～1.36時,共振波長同摺射率具有良好的線性關繫,光譜儀分辨率為0.1 m時,其分辨率可達到3×10-5摺射率單位.
침대광섬SPR(표면등리자체공진)전감기제작공예복잡적문제,제출료일충광섬선고정후부분도막적SPR전감심편적제작방법.의거전자장화사선이론,분석병토론료차충파장조제부분도막SPR전감심편적공작원리,채용MEMS제작공예대탐측광섬진행봉장고정이후,재대광섬진행부분도막,기결구간단,공예성호,역우실현비양화.최후,탑건료일투기、우파장검측적광섬SPR측시계통대기진행측시.실험결과표명:재절사솔범위위1.33～1.36시,공진파장동절사솔구유량호적선성관계,광보의분변솔위0.1 m시,기분변솔가체도3×10-5절사솔단위.
