分析仪器
分析儀器
분석의기
ANALYTICAL INSTRUMENTATION
2008年
1期
3-7
,共5页
近红外光谱仪%微机电系统%编码盘%法布里-珀罗干涉仪%可编程衍射光栅%扫描光栅
近紅外光譜儀%微機電繫統%編碼盤%法佈裏-珀囉榦涉儀%可編程衍射光柵%掃描光柵
근홍외광보의%미궤전계통%편마반%법포리-박라간섭의%가편정연사광책%소묘광책
近几年国际上出现了一些新型近红外光谱仪器.这些仪器大都是基于微机电系统(MEMS)技术设计和制造的,如MEMS法布里-珀罗干涉仪、MEMS可编程衍射光栅、MEMS扫描光栅等,具有重量轻、体积小、探测速度快、可批量制造以及成本低廉等特点.本文介绍这些新型近红外光谱仪器的基本原理和主要技术指标.
近幾年國際上齣現瞭一些新型近紅外光譜儀器.這些儀器大都是基于微機電繫統(MEMS)技術設計和製造的,如MEMS法佈裏-珀囉榦涉儀、MEMS可編程衍射光柵、MEMS掃描光柵等,具有重量輕、體積小、探測速度快、可批量製造以及成本低廉等特點.本文介紹這些新型近紅外光譜儀器的基本原理和主要技術指標.
근궤년국제상출현료일사신형근홍외광보의기.저사의기대도시기우미궤전계통(MEMS)기술설계화제조적,여MEMS법포리-박라간섭의、MEMS가편정연사광책、MEMS소묘광책등,구유중량경、체적소、탐측속도쾌、가비량제조이급성본저렴등특점.본문개소저사신형근홍외광보의기적기본원리화주요기술지표.
