组合机床与自动化加工技术
組閤機床與自動化加工技術
조합궤상여자동화가공기술
MODULAR MACHINE TOOL & AUTOMATIC MANUFACTURING TECHNIQUE
2011年
9期
17-19,23
,共4页
邹风山%曲道奎%徐方%宋吉来
鄒風山%麯道奎%徐方%宋吉來
추풍산%곡도규%서방%송길래
碰撞检测%位置误差%真空机器人
踫撞檢測%位置誤差%真空機器人
팽당검측%위치오차%진공궤기인
要保证碰撞发生时真空机器人与晶片的安全,避免造成较大的损失,真空机器人必须具有碰撞保护功能.在研究真空机器人位置误差变化的基础上,不使用额外的传感器,建立基于位置误差模糊推理的碰撞保护系统.该系统选用二维的模糊控制器来确定位置误差的阈值,以机器人加速度、机械惯量作为输入条件,估计的系统位置误差作为输出条件；并提出了不同的保护策略.最后给出了真空机器人碰撞的实验结果,结果表明该碰撞保护方法具有较高的准确性和灵敏度.
要保證踫撞髮生時真空機器人與晶片的安全,避免造成較大的損失,真空機器人必鬚具有踫撞保護功能.在研究真空機器人位置誤差變化的基礎上,不使用額外的傳感器,建立基于位置誤差模糊推理的踫撞保護繫統.該繫統選用二維的模糊控製器來確定位置誤差的閾值,以機器人加速度、機械慣量作為輸入條件,估計的繫統位置誤差作為輸齣條件；併提齣瞭不同的保護策略.最後給齣瞭真空機器人踫撞的實驗結果,結果錶明該踫撞保護方法具有較高的準確性和靈敏度.
요보증팽당발생시진공궤기인여정편적안전,피면조성교대적손실,진공궤기인필수구유팽당보호공능.재연구진공궤기인위치오차변화적기출상,불사용액외적전감기,건립기우위치오차모호추리적팽당보호계통.해계통선용이유적모호공제기래학정위치오차적역치,이궤기인가속도、궤계관량작위수입조건,고계적계통위치오차작위수출조건；병제출료불동적보호책략.최후급출료진공궤기인팽당적실험결과,결과표명해팽당보호방법구유교고적준학성화령민도.
