河北大学学报（自然科学版）
河北大學學報（自然科學版）
하북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
1期
24-27
,共4页
邓泽超%罗青山%丁学成%褚立志%王英龙
鄧澤超%囉青山%丁學成%褚立誌%王英龍
산택초%라청산%정학성%저립지%왕영룡
脉冲激光沉积%能量密度%纳米硅晶粒%晶粒尺寸
脈遲激光沉積%能量密度%納米硅晶粒%晶粒呎吋
맥충격광침적%능량밀도%납미규정립%정립척촌
在室温条件下保持Ar环境气体压强不变,采用脉冲激光沉积(PLD)技术,通过改变激光能量密度,在与烧蚀羽辉轴线垂直放置的衬底上沉积了一系列纳米硅晶薄膜,利用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼(Raman)散射光谱对样品进行特性分析.结果表明,在能量密度为2～4 J/cm2时,衬底上沉积的纳米硅晶粒尺寸和面密度基本不变.结合纳米晶粒成核生长动力学,对结果进行了定性解释.
在室溫條件下保持Ar環境氣體壓彊不變,採用脈遲激光沉積(PLD)技術,通過改變激光能量密度,在與燒蝕羽輝軸線垂直放置的襯底上沉積瞭一繫列納米硅晶薄膜,利用掃描電子顯微鏡(SEM)和拉曼(Raman)散射光譜對樣品進行特性分析.結果錶明,在能量密度為2～4 J/cm2時,襯底上沉積的納米硅晶粒呎吋和麵密度基本不變.結閤納米晶粒成覈生長動力學,對結果進行瞭定性解釋.
재실온조건하보지Ar배경기체압강불변,채용맥충격광침적(PLD)기술,통과개변격광능량밀도,재여소식우휘축선수직방치적츤저상침적료일계렬납미규정박막,이용소묘전자현미경(SEM)화랍만(Raman)산사광보대양품진행특성분석.결과표명,재능량밀도위2～4 J/cm2시,츤저상침적적납미규정립척촌화면밀도기본불변.결합납미정립성핵생장동역학,대결과진행료정성해석.
