真空
真空
진공
VACUUM
2005年
3期
45-48
,共4页
高飞%董晓浩%赵飞云%凤良杰%徐朝银
高飛%董曉浩%趙飛雲%鳳良傑%徐朝銀
고비%동효호%조비운%봉량걸%서조은
真空配置%有限元分析%润滑剂%质谱分析
真空配置%有限元分析%潤滑劑%質譜分析
진공배치%유한원분석%윤활제%질보분석
本文解决了KZ-400离子束刻蚀装置设计中遇到的若干真空问题.通过抽速计算选择了合理的真空配置;用有限元分析软件ANSYS计算了真空室的受压形变,优化了真空室的结构,采取了合理的误差补偿措施;并通过摩擦润滑试验和质谱分析检测了二硫化钼润滑剂的真空润滑性能,解决了工作台扫描运动的有效润滑.
本文解決瞭KZ-400離子束刻蝕裝置設計中遇到的若榦真空問題.通過抽速計算選擇瞭閤理的真空配置;用有限元分析軟件ANSYS計算瞭真空室的受壓形變,優化瞭真空室的結構,採取瞭閤理的誤差補償措施;併通過摩抆潤滑試驗和質譜分析檢測瞭二硫化鉬潤滑劑的真空潤滑性能,解決瞭工作檯掃描運動的有效潤滑.
본문해결료KZ-400리자속각식장치설계중우도적약간진공문제.통과추속계산선택료합리적진공배치;용유한원분석연건ANSYS계산료진공실적수압형변,우화료진공실적결구,채취료합리적오차보상조시;병통과마찰윤활시험화질보분석검측료이류화목윤활제적진공윤활성능,해결료공작태소묘운동적유효윤활.
