电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2007年
5期
411-414
,共4页
何洋洋%张贵锋%李国卿%侯晓多%李春燕%姜辛
何洋洋%張貴鋒%李國卿%侯曉多%李春燕%薑辛
하양양%장귀봉%리국경%후효다%리춘연%강신
类金刚石薄膜%电化学沉积%扫描电镜%电子衍射谱
類金剛石薄膜%電化學沉積%掃描電鏡%電子衍射譜
류금강석박막%전화학침적%소묘전경%전자연사보
采用脉冲直流电源,以甲醇有机溶液作为碳源,在低温(60 ℃～70 ℃)常压条件下,在(100)硅片上沉积了类金刚石薄膜.用扫描电镜、透射电镜、电子衍射谱和拉曼光谱表征了薄膜的表面形貌和结构.结果表明:类金刚石薄膜致密均匀,表面粗糙度小;Raman光谱在1 332 cm-1附近有一强峰,与金刚石的特征峰接近;电子衍射谱的分析结果表明薄膜中含有多晶金刚石和石墨碳相.
採用脈遲直流電源,以甲醇有機溶液作為碳源,在低溫(60 ℃～70 ℃)常壓條件下,在(100)硅片上沉積瞭類金剛石薄膜.用掃描電鏡、透射電鏡、電子衍射譜和拉曼光譜錶徵瞭薄膜的錶麵形貌和結構.結果錶明:類金剛石薄膜緻密均勻,錶麵粗糙度小;Raman光譜在1 332 cm-1附近有一彊峰,與金剛石的特徵峰接近;電子衍射譜的分析結果錶明薄膜中含有多晶金剛石和石墨碳相.
채용맥충직류전원,이갑순유궤용액작위탄원,재저온(60 ℃～70 ℃)상압조건하,재(100)규편상침적료류금강석박막.용소묘전경、투사전경、전자연사보화랍만광보표정료박막적표면형모화결구.결과표명:류금강석박막치밀균균,표면조조도소;Raman광보재1 332 cm-1부근유일강봉,여금강석적특정봉접근;전자연사보적분석결과표명박막중함유다정금강석화석묵탄상.
