材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2008年
3期
449-452
,共4页
邓太平%毛文行%尹传强%刘兵发%杜国平%周浪
鄧太平%毛文行%尹傳彊%劉兵髮%杜國平%週浪
산태평%모문행%윤전강%류병발%두국평%주랑
太阳能%多晶硅%夹杂
太暘能%多晶硅%夾雜
태양능%다정규%협잡
多晶硅锭中经常出现硬质夹杂颗粒,严重影响线切割硅片的表面质量,严重时造成硅片切割生产中断线.我们采用光学显微镜、扫描电镜特征X射线能谱仪、X射线衍射仪等手段对定向凝固多晶硅锭中的夹杂进行了分析.采用溶解硅基体后沉淀萃取的方法取得硅锭不同部位的夹杂.分析结果表明,硅锭中夹杂的物相主要有两种:β-SiC和β-Si3N4,SiC的数量较多;二者形貌有显著区别:前者呈不规则块状,而后者则呈平直杆状.硅锭的顶表面附近夹杂高度富集,但内部仍偶有大于100微米的较大的碳化硅夹杂颗粒出现.
多晶硅錠中經常齣現硬質夾雜顆粒,嚴重影響線切割硅片的錶麵質量,嚴重時造成硅片切割生產中斷線.我們採用光學顯微鏡、掃描電鏡特徵X射線能譜儀、X射線衍射儀等手段對定嚮凝固多晶硅錠中的夾雜進行瞭分析.採用溶解硅基體後沉澱萃取的方法取得硅錠不同部位的夾雜.分析結果錶明,硅錠中夾雜的物相主要有兩種:β-SiC和β-Si3N4,SiC的數量較多;二者形貌有顯著區彆:前者呈不規則塊狀,而後者則呈平直桿狀.硅錠的頂錶麵附近夾雜高度富集,但內部仍偶有大于100微米的較大的碳化硅夾雜顆粒齣現.
다정규정중경상출현경질협잡과립,엄중영향선절할규편적표면질량,엄중시조성규편절할생산중단선.아문채용광학현미경、소묘전경특정X사선능보의、X사선연사의등수단대정향응고다정규정중적협잡진행료분석.채용용해규기체후침정췌취적방법취득규정불동부위적협잡.분석결과표명,규정중협잡적물상주요유량충:β-SiC화β-Si3N4,SiC적수량교다;이자형모유현저구별:전자정불규칙괴상,이후자칙정평직간상.규정적정표면부근협잡고도부집,단내부잉우유대우100미미적교대적탄화규협잡과립출현.
