理化检验-物理分册
理化檢驗-物理分冊
이화검험-물리분책
PTCA(PART A:PHYSICAL TESTING)
2003年
3期
146-150
,共5页
扫描探针显微镜%粗糙度%表面形貌%纳米尺寸
掃描探針顯微鏡%粗糙度%錶麵形貌%納米呎吋
소묘탐침현미경%조조도%표면형모%납미척촌
扫描探针显微镜是近十几年来在表面特征、表面形貌观测方面最重大的进展之一,是纳米测量学的基本工具.叙述了扫描探针显微镜的工作原理、检测模式及在观察检测纳米级的粗糙度、微小尺寸、表面形貌方面的特点和方法,比较了原子力显微镜、常规的表面轮廓仪、干涉显微镜、扫描电子显微镜在表面特性、表面形貌观测方面的性能,着重介绍了扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测方面的应用和存在的问题.
掃描探針顯微鏡是近十幾年來在錶麵特徵、錶麵形貌觀測方麵最重大的進展之一,是納米測量學的基本工具.敘述瞭掃描探針顯微鏡的工作原理、檢測模式及在觀察檢測納米級的粗糙度、微小呎吋、錶麵形貌方麵的特點和方法,比較瞭原子力顯微鏡、常規的錶麵輪廓儀、榦涉顯微鏡、掃描電子顯微鏡在錶麵特性、錶麵形貌觀測方麵的性能,著重介紹瞭掃描探針顯微鏡在粗糙度、納米呎吋、錶麵形貌觀測方麵的應用和存在的問題.
소묘탐침현미경시근십궤년래재표면특정、표면형모관측방면최중대적진전지일,시납미측량학적기본공구.서술료소묘탐침현미경적공작원리、검측모식급재관찰검측납미급적조조도、미소척촌、표면형모방면적특점화방법,비교료원자력현미경、상규적표면륜곽의、간섭현미경、소묘전자현미경재표면특성、표면형모관측방면적성능,착중개소료소묘탐침현미경재조조도、납미척촌、표면형모관측방면적응용화존재적문제.
