电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2005年
3期
556-558
,共3页
程广山%杨鸿生%沈长圣%孙永志%孙岚%董家禄%褚家美
程廣山%楊鴻生%瀋長聖%孫永誌%孫嵐%董傢祿%褚傢美
정엄산%양홍생%침장골%손영지%손람%동가록%저가미
微波化学%微波等离子体%温度%热偶计
微波化學%微波等離子體%溫度%熱偶計
미파화학%미파등리자체%온도%열우계
针对矩形波导微波化学反应器,在低气压,低功率,纯甲烷微波放电情况下,用朗缪尔探针测量了石英反应管内等离子体的分布,用热偶计测量了微波等离子体在空间的温度分布.在谐振腔中心位置,等离子体的空间温度可以达到829℃;而在等离子体边缘区域,空间温度仅为78℃.
針對矩形波導微波化學反應器,在低氣壓,低功率,純甲烷微波放電情況下,用朗繆爾探針測量瞭石英反應管內等離子體的分佈,用熱偶計測量瞭微波等離子體在空間的溫度分佈.在諧振腔中心位置,等離子體的空間溫度可以達到829℃;而在等離子體邊緣區域,空間溫度僅為78℃.
침대구형파도미파화학반응기,재저기압,저공솔,순갑완미파방전정황하,용랑무이탐침측량료석영반응관내등리자체적분포,용열우계측량료미파등리자체재공간적온도분포.재해진강중심위치,등리자체적공간온도가이체도829℃;이재등리자체변연구역,공간온도부위78℃.
