CAJ | 학술논문

采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel),在Si衬底上生长了TiO2纳米薄膜,并用此材料制备了光电导型的TiO2薄膜紫外光探测器.通过测量探测器的光电流与照射光波长的关系,可以看出,TiO2探测器在紫外波段230～280nm有很明显的光响应,光电流谱线近乎平坦;在280nm处光响应出现明显下降,且跨度较大,直至360nm又再次趋于平坦.测量了250nm波长处的响应度和外加偏压的关系,发现响应度随外加偏压的增加而增加,5V时达到饱和.
채용용효-응효법(Sol-Gel),재Si츤저상생장료TiO2납미박막,병용차재료제비료광전도형적TiO2박막자외광탐측기.통과측량탐측기적광전류여조사광파장적관계,가이간출,TiO2탐측기재자외파단230～280nm유흔명현적광향응,광전류보선근호평탄;재280nm처광향응출현명현하강,차과도교대,직지360nm우재차추우평탄.측량료250nm파장처적향응도화외가편압적관계,발현향응도수외가편압적증가이증가,5V시체도포화.