稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2005年
8期
1341-1344
,共4页
马波%王克光%李争显%周廉%程何祥
馬波%王剋光%李爭顯%週廉%程何祥
마파%왕극광%리쟁현%주렴%정하상
TA1钛表面%Fe-Pd薄膜%扩散
TA1鈦錶麵%Fe-Pd薄膜%擴散
TA1태표면%Fe-Pd박막%확산
采用电弧离子镀设备,以高纯Fe靶和Pd靶为原料,在TA1工业纯钛表面先后沉积Fe,Pd2层单金属薄膜.对样品分别进行700℃～1100℃,保温0.5h～3h的真空退火处理,使Fe膜和Pd膜之间形成扩散层,制备FePd磁性膜.重点研究了Fe,Pd及钛衬底之间的互扩散机制,膜层结构,薄膜的相组成.结果表明:在700℃,0.5h处理后FePd薄膜的合金化较好;在900℃,1h处理后虽有FePd相形成,但基体中的Ti已经扩散至表面;温度高于900℃且保温时间长于1h处理,不利于FePd膜的形成.
採用電弧離子鍍設備,以高純Fe靶和Pd靶為原料,在TA1工業純鈦錶麵先後沉積Fe,Pd2層單金屬薄膜.對樣品分彆進行700℃～1100℃,保溫0.5h～3h的真空退火處理,使Fe膜和Pd膜之間形成擴散層,製備FePd磁性膜.重點研究瞭Fe,Pd及鈦襯底之間的互擴散機製,膜層結構,薄膜的相組成.結果錶明:在700℃,0.5h處理後FePd薄膜的閤金化較好;在900℃,1h處理後雖有FePd相形成,但基體中的Ti已經擴散至錶麵;溫度高于900℃且保溫時間長于1h處理,不利于FePd膜的形成.
채용전호리자도설비,이고순Fe파화Pd파위원료,재TA1공업순태표면선후침적Fe,Pd2층단금속박막.대양품분별진행700℃～1100℃,보온0.5h～3h적진공퇴화처리,사Fe막화Pd막지간형성확산층,제비FePd자성막.중점연구료Fe,Pd급태츤저지간적호확산궤제,막층결구,박막적상조성.결과표명:재700℃,0.5h처리후FePd박막적합금화교호;재900℃,1h처리후수유FePd상형성,단기체중적Ti이경확산지표면;온도고우900℃차보온시간장우1h처리,불리우FePd막적형성.
