中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
z1期
272-274
,共3页
王凯%赵新%何维玮%卢桂章
王凱%趙新%何維瑋%盧桂章
왕개%조신%하유위%로계장
开发流程%静电式光开关%优化设计%MEMS
開髮流程%靜電式光開關%優化設計%MEMS
개발류정%정전식광개관%우화설계%MEMS
在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.
在研究MEMS集成繫統設計經驗的基礎上,簡要論述瞭設計流程在MEMS設計中的重要性,提齣靜電式光開關新器件的開髮流程,併以懸臂樑式MEMS光開關為例,進行瞭理論分析、靜電-結構耦閤場分析、材料選擇、結構參數優化和控製電路設計等方麵的研究.所提齣的設計開髮流程也適用于靜電驅動的其他器件的開髮,如RF-MEMS器件.
재연구MEMS집성계통설계경험적기출상,간요논술료설계류정재MEMS설계중적중요성,제출정전식광개관신기건적개발류정,병이현비량식MEMS광개관위례,진행료이론분석、정전-결구우합장분석、재료선택、결구삼수우화화공제전로설계등방면적연구.소제출적설계개발류정야괄용우정전구동적기타기건적개발,여RF-MEMS기건.
