微波学报
微波學報
미파학보
JOURNAL OF MICROWAVES
2008年
3期
74-77
,共4页
戴永胜%方大纲%张宇峰%祁高品%朱健%郁原卫
戴永勝%方大綱%張宇峰%祁高品%硃健%鬱原衛
대영성%방대강%장우봉%기고품%주건%욱원위
共面波导%毫米波开关%插入损耗%隔离%驱动电压
共麵波導%毫米波開關%插入損耗%隔離%驅動電壓
공면파도%호미파개관%삽입손모%격리%구동전압
介绍了毫米波悬臂梁接触式反射型RF-MEMS串联开关芯片的设计、制造和测试.采用三维电磁场仿真软件Ansoft HFSS进行仿真和优化设计,开关芯片尺寸为:0.8mm×0.95mm×0.4mm,芯片测试结果为:在50GHz频率插入损耗为1.1dB,隔离度测试值约为23dB,设计和测试的结果吻合较好.这种RF-MEMS开关可在毫米波系统中广泛应用.
介紹瞭毫米波懸臂樑接觸式反射型RF-MEMS串聯開關芯片的設計、製造和測試.採用三維電磁場倣真軟件Ansoft HFSS進行倣真和優化設計,開關芯片呎吋為:0.8mm×0.95mm×0.4mm,芯片測試結果為:在50GHz頻率插入損耗為1.1dB,隔離度測試值約為23dB,設計和測試的結果吻閤較好.這種RF-MEMS開關可在毫米波繫統中廣汎應用.
개소료호미파현비량접촉식반사형RF-MEMS천련개관심편적설계、제조화측시.채용삼유전자장방진연건Ansoft HFSS진행방진화우화설계,개관심편척촌위:0.8mm×0.95mm×0.4mm,심편측시결과위:재50GHz빈솔삽입손모위1.1dB,격리도측시치약위23dB,설계화측시적결과문합교호.저충RF-MEMS개관가재호미파계통중엄범응용.
