粉末冶金材料科学与工程
粉末冶金材料科學與工程
분말야금재료과학여공정
POWDER METALLURGY MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2009年
1期
32-35
,共4页
方梅%余志明%肖柱%陈爽%陈永勤
方梅%餘誌明%肖柱%陳爽%陳永勤
방매%여지명%초주%진상%진영근
热丝化学气相沉积%金刚石薄膜%氧化铍%热导率
熱絲化學氣相沉積%金剛石薄膜%氧化鈹%熱導率
열사화학기상침적%금강석박막%양화피%열도솔
提高氧化铍的热导率,既能助其开拓新的发展空间,又能满足电子器件的散热需求,因而利用热丝化学气相沉积法在氧化铍上沉积得到与基体串、并联方式不同的、利于提高导热率的各种金刚石薄膜.通过扫描电镜和原子力显微镜观察薄膜表面的晶体形貌:采用X射线衍射仪分析薄膜成分;借助热物性激光测试仪测量金刚石膜/氧化铍基复合体的热扩散系数,并计算其热导率.结果表明:镀膜后可使氧化铍的热导率提高12.1%～34.4%;基体预处理方法、金刚石膜和氧化铍基体的串、并联方式对复合体的热导率均有较大影响.
提高氧化鈹的熱導率,既能助其開拓新的髮展空間,又能滿足電子器件的散熱需求,因而利用熱絲化學氣相沉積法在氧化鈹上沉積得到與基體串、併聯方式不同的、利于提高導熱率的各種金剛石薄膜.通過掃描電鏡和原子力顯微鏡觀察薄膜錶麵的晶體形貌:採用X射線衍射儀分析薄膜成分;藉助熱物性激光測試儀測量金剛石膜/氧化鈹基複閤體的熱擴散繫數,併計算其熱導率.結果錶明:鍍膜後可使氧化鈹的熱導率提高12.1%～34.4%;基體預處理方法、金剛石膜和氧化鈹基體的串、併聯方式對複閤體的熱導率均有較大影響.
제고양화피적열도솔,기능조기개탁신적발전공간,우능만족전자기건적산열수구,인이이용열사화학기상침적법재양화피상침적득도여기체천、병련방식불동적、리우제고도열솔적각충금강석박막.통과소묘전경화원자력현미경관찰박막표면적정체형모:채용X사선연사의분석박막성분;차조열물성격광측시의측량금강석막/양화피기복합체적열확산계수,병계산기열도솔.결과표명:도막후가사양화피적열도솔제고12.1%～34.4%;기체예처리방법、금강석막화양화피기체적천、병련방식대복합체적열도솔균유교대영향.
