宇航计测技术
宇航計測技術
우항계측기술
JOURNAL OF ASTRONAUTIC METROLOGY AND MEASUREMENT
2010年
1期
75-79
,共5页
纳米%计量%溯源%~+扫描探针显微镜
納米%計量%溯源%~+掃描探針顯微鏡
납미%계량%소원%~+소묘탐침현미경
Nanometer%Metrology%Trace%~+SPM
介绍了纳米计量溯源到国际基本单位制(SI)的传递过程.回顾了国内外计量型扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)的工作原理及其溯源性.论述了目前主要纳米计量参数、溯源用标准样本的研究概况.
介紹瞭納米計量溯源到國際基本單位製(SI)的傳遞過程.迴顧瞭國內外計量型掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope,SPM)的工作原理及其溯源性.論述瞭目前主要納米計量參數、溯源用標準樣本的研究概況.
개소료납미계량소원도국제기본단위제(SI)적전체과정.회고료국내외계량형소묘탐침현미경(Scanning Probe Microscope,SPM)적공작원리급기소원성.논술료목전주요납미계량삼수、소원용표준양본적연구개황.
Transfer chain of nanometrology traceability to the International System of Units(SI)is introduced.And the principle and the measurement traceability of metrological scanning probe microscope in China and abroad is reviewed.Then,the research overview of the nanometrology parameters and traceable standard samples is described.
