东南大学学报（自然科学版）
東南大學學報（自然科學版）
동남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTHEAST UNIVERSITY
2012年
1期
25-28
,共4页
万维俊%刘斯扬%孙虎%孙伟锋
萬維俊%劉斯颺%孫虎%孫偉鋒
만유준%류사양%손호%손위봉
FG-pLEDMOS%热载流子%电荷泵%p型缓冲区
FG-pLEDMOS%熱載流子%電荷泵%p型緩遲區
FG-pLEDMOS%열재류자%전하빙%p형완충구
针对FG-pLEDMOS施加高栅压低漏压的热载流子应力会使器件线性区漏电流发生退化,而阈值电压基本保持不变,使用TCAD软件仿真以及电荷泵测试技术对其进行了详细的分析.结果表明:沟道区的热空穴注入到栅氧化层,热空穴并没有被栅氧化层俘获,而是产生了界面态；栅氧化层电荷没有变化,使阈值电压基本不变,而界面态的增加导致线性区漏电流发生退化.电场和碰撞电离率是热空穴产生的主要原因,较长的p型缓冲区可以改善沟道区的电场分布,降低碰撞电离率,从而有效地减弱热载流子退化效应.
針對FG-pLEDMOS施加高柵壓低漏壓的熱載流子應力會使器件線性區漏電流髮生退化,而閾值電壓基本保持不變,使用TCAD軟件倣真以及電荷泵測試技術對其進行瞭詳細的分析.結果錶明:溝道區的熱空穴註入到柵氧化層,熱空穴併沒有被柵氧化層俘穫,而是產生瞭界麵態；柵氧化層電荷沒有變化,使閾值電壓基本不變,而界麵態的增加導緻線性區漏電流髮生退化.電場和踫撞電離率是熱空穴產生的主要原因,較長的p型緩遲區可以改善溝道區的電場分佈,降低踫撞電離率,從而有效地減弱熱載流子退化效應.
침대FG-pLEDMOS시가고책압저루압적열재류자응력회사기건선성구루전류발생퇴화,이역치전압기본보지불변,사용TCAD연건방진이급전하빙측시기술대기진행료상세적분석.결과표명:구도구적열공혈주입도책양화층,열공혈병몰유피책양화층부획,이시산생료계면태；책양화층전하몰유변화,사역치전압기본불변,이계면태적증가도치선성구루전류발생퇴화.전장화팽당전리솔시열공혈산생적주요원인,교장적p형완충구가이개선구도구적전장분포,강저팽당전리솔,종이유효지감약열재류자퇴화효응.
