微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2004年
3期
6-13,24
,共9页
纳米电子学%纳米技术%微电子技术%集成电路
納米電子學%納米技術%微電子技術%集成電路
납미전자학%납미기술%미전자기술%집성전로
纳米电子学是纳米技术的重要科学基础,纳米电子学将成为21世纪信息时代的科学核心,将使未来社会产生重大变革.本文介绍了纳米电子学的基本概念、纳米电子学的产生、纳米电子学的研究内容、纳米器件的基本结构及工作机理、纳米结构的微加工技术、纳米结构的检测与表征、纳米电子学的应用及发展对策.
納米電子學是納米技術的重要科學基礎,納米電子學將成為21世紀信息時代的科學覈心,將使未來社會產生重大變革.本文介紹瞭納米電子學的基本概唸、納米電子學的產生、納米電子學的研究內容、納米器件的基本結構及工作機理、納米結構的微加工技術、納米結構的檢測與錶徵、納米電子學的應用及髮展對策.
납미전자학시납미기술적중요과학기출,납미전자학장성위21세기신식시대적과학핵심,장사미래사회산생중대변혁.본문개소료납미전자학적기본개념、납미전자학적산생、납미전자학적연구내용、납미기건적기본결구급공작궤리、납미결구적미가공기술、납미결구적검측여표정、납미전자학적응용급발전대책.
