红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2005年
1期
31-33
,共3页
李芳%王杰%王丹阳%莫党%陈王丽华
李芳%王傑%王丹暘%莫黨%陳王麗華
리방%왕걸%왕단양%막당%진왕려화
电光系数%椭偏仪%PLZT薄膜%光学性质
電光繫數%橢偏儀%PLZT薄膜%光學性質
전광계수%타편의%PLZT박막%광학성질
利用调制式的椭偏仪测量了掺镧锆钛酸铅PLZT薄膜的电光系数.首先用反射椭偏测量的方法得到薄膜的折射率(n)和厚度(d),然后利用透射椭偏在线测量的功能,在样品上加电场(E),得到薄膜的折射率的改变δn.最后用测量得到的厚度,折射率以及折射率的改变来计算薄膜的电光系数.该仪器的灵敏度很高,很适合较薄的膜层材料电光性质的测量.
利用調製式的橢偏儀測量瞭摻鑭鋯鈦痠鉛PLZT薄膜的電光繫數.首先用反射橢偏測量的方法得到薄膜的摺射率(n)和厚度(d),然後利用透射橢偏在線測量的功能,在樣品上加電場(E),得到薄膜的摺射率的改變δn.最後用測量得到的厚度,摺射率以及摺射率的改變來計算薄膜的電光繫數.該儀器的靈敏度很高,很適閤較薄的膜層材料電光性質的測量.
이용조제식적타편의측량료참란고태산연PLZT박막적전광계수.수선용반사타편측량적방법득도박막적절사솔(n)화후도(d),연후이용투사타편재선측량적공능,재양품상가전장(E),득도박막적절사솔적개변δn.최후용측량득도적후도,절사솔이급절사솔적개변래계산박막적전광계수.해의기적령민도흔고,흔괄합교박적막층재료전광성질적측량.
