稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2007年
4期
515-519
,共5页
多弧离子镀膜%铬基金属衬底%择优取向%表面粗糙度
多弧離子鍍膜%鉻基金屬襯底%擇優取嚮%錶麵粗糙度
다호리자도막%락기금속츤저%택우취향%표면조조도
利用多弧离子镀和选择腐蚀相结合的技术在Si(111)衬底上首次制备了具有择优取向的铬基金属衬底,该金属衬底具有与外延级硅衬底一致的表面粗糙度及平整度.采用SEM,EDX,XRD和显微硬度计对铬基金属衬底进行了表征.研究表明:镍铬共镀有利于获得(110)择优取向的铬基金属衬底,同时镍铬共镀对表面形貌、显微硬度、平整度均存在一定影响.
利用多弧離子鍍和選擇腐蝕相結閤的技術在Si(111)襯底上首次製備瞭具有擇優取嚮的鉻基金屬襯底,該金屬襯底具有與外延級硅襯底一緻的錶麵粗糙度及平整度.採用SEM,EDX,XRD和顯微硬度計對鉻基金屬襯底進行瞭錶徵.研究錶明:鎳鉻共鍍有利于穫得(110)擇優取嚮的鉻基金屬襯底,同時鎳鉻共鍍對錶麵形貌、顯微硬度、平整度均存在一定影響.
이용다호리자도화선택부식상결합적기술재Si(111)츤저상수차제비료구유택우취향적락기금속츤저,해금속츤저구유여외연급규츤저일치적표면조조도급평정도.채용SEM,EDX,XRD화현미경도계대락기금속츤저진행료표정.연구표명:얼락공도유리우획득(110)택우취향적락기금속츤저,동시얼락공도대표면형모、현미경도、평정도균존재일정영향.
