人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
2期
415-418,434
,共5页
张啸%王华%许积文%杨玲%任明放
張嘯%王華%許積文%楊玲%任明放
장소%왕화%허적문%양령%임명방
超声喷雾热解%In2S3薄膜%衬底温度%禁带宽度
超聲噴霧熱解%In2S3薄膜%襯底溫度%禁帶寬度
초성분무열해%In2S3박막%츤저온도%금대관도
采用超声喷雾热解法,在玻璃基底上一步合成了In2S3薄膜.研究了衬底温度对In2S3薄膜的结构、表面形貌、电学和光学性能影响.结果表明:所制备的In2S3薄膜均具有沿(220)面择优取向生长特性且无其他杂相,衬底温度对薄膜的均匀性、致密度、结晶程度均有明显影响,并因此影响薄膜的光电性能.薄膜的导电件随着衬底温度的升高迅速增强,但足在衬底温度为350℃时有所降低.衬底温度为300℃所制备的薄膜在可见光区透光率最高达到90%以上,禁带宽度达到2.43 eV.
採用超聲噴霧熱解法,在玻璃基底上一步閤成瞭In2S3薄膜.研究瞭襯底溫度對In2S3薄膜的結構、錶麵形貌、電學和光學性能影響.結果錶明:所製備的In2S3薄膜均具有沿(220)麵擇優取嚮生長特性且無其他雜相,襯底溫度對薄膜的均勻性、緻密度、結晶程度均有明顯影響,併因此影響薄膜的光電性能.薄膜的導電件隨著襯底溫度的升高迅速增彊,但足在襯底溫度為350℃時有所降低.襯底溫度為300℃所製備的薄膜在可見光區透光率最高達到90%以上,禁帶寬度達到2.43 eV.
채용초성분무열해법,재파리기저상일보합성료In2S3박막.연구료츤저온도대In2S3박막적결구、표면형모、전학화광학성능영향.결과표명:소제비적In2S3박막균구유연(220)면택우취향생장특성차무기타잡상,츤저온도대박막적균균성、치밀도、결정정도균유명현영향,병인차영향박막적광전성능.박막적도전건수착츤저온도적승고신속증강,단족재츤저온도위350℃시유소강저.츤저온도위300℃소제비적박막재가견광구투광솔최고체도90%이상,금대관도체도2.43 eV.
