工业水处理
工業水處理
공업수처리
INDUSTRIAL WATER TREATMENT
2004年
4期
59-60
,共2页
刘朋%陈为红%杨宝和%王水弟
劉朋%陳為紅%楊寶和%王水弟
류붕%진위홍%양보화%왕수제
超大规模集成电路%两级反渗透%电连续去离子%脱氧膜组%抛光混床
超大規模集成電路%兩級反滲透%電連續去離子%脫氧膜組%拋光混床
초대규모집성전로%량급반삼투%전련속거리자%탈양막조%포광혼상
介绍了清华大学微电子学研究所VLSI用超纯水系统在设计过程中的一些特殊要求和遇到的重点问题.该系统在两级反渗透、电连续去离子、真空膜脱氧、高纯材料的使用、超痕量分析技术以及上位计算机监控等方面都代表了当今超纯水技术的先进水平.
介紹瞭清華大學微電子學研究所VLSI用超純水繫統在設計過程中的一些特殊要求和遇到的重點問題.該繫統在兩級反滲透、電連續去離子、真空膜脫氧、高純材料的使用、超痕量分析技術以及上位計算機鑑控等方麵都代錶瞭噹今超純水技術的先進水平.
개소료청화대학미전자학연구소VLSI용초순수계통재설계과정중적일사특수요구화우도적중점문제.해계통재량급반삼투、전련속거리자、진공막탈양、고순재료적사용、초흔량분석기술이급상위계산궤감공등방면도대표료당금초순수기술적선진수평.
