微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
2期
45-48
,共4页
贾翠萍%董玮%周敬然%王丹%臧会东%徐宝琨%陈维友
賈翠萍%董瑋%週敬然%王丹%臧會東%徐寶琨%陳維友
가취평%동위%주경연%왕단%장회동%서보곤%진유우
光开关%(110)硅片%耦合%锯齿状沟槽
光開關%(110)硅片%耦閤%鋸齒狀溝槽
광개관%(110)규편%우합%거치상구조
利用KOH溶液腐蚀在(110)硅片上制作2×2 MEMS光开关,微反射镜表面光滑且垂直度较好,其质量高于用同样方法在(100)硅片上制作的反射镜,但是却存在自对准V型槽难以实现的问题.依据(110)硅片的结晶学特点,设计并制作了夹角为38.94°的两个光纤定位槽:一个为U型槽,两侧面均为{111}面;另一个是呈锯齿状的光纤槽,它是由腐蚀出的平行四边形蚀坑串组成.介绍了锯齿状沟槽的实现原理,对平行四边形蚀坑尺寸进行了分析设计,并采用菱形凸角补偿结构实现凸角补偿.这两种光纤定位槽结构都能够很好地固定光纤,并实现了光纤的自对准,且制作方法简单.
利用KOH溶液腐蝕在(110)硅片上製作2×2 MEMS光開關,微反射鏡錶麵光滑且垂直度較好,其質量高于用同樣方法在(100)硅片上製作的反射鏡,但是卻存在自對準V型槽難以實現的問題.依據(110)硅片的結晶學特點,設計併製作瞭夾角為38.94°的兩箇光纖定位槽:一箇為U型槽,兩側麵均為{111}麵;另一箇是呈鋸齒狀的光纖槽,它是由腐蝕齣的平行四邊形蝕坑串組成.介紹瞭鋸齒狀溝槽的實現原理,對平行四邊形蝕坑呎吋進行瞭分析設計,併採用蔆形凸角補償結構實現凸角補償.這兩種光纖定位槽結構都能夠很好地固定光纖,併實現瞭光纖的自對準,且製作方法簡單.
이용KOH용액부식재(110)규편상제작2×2 MEMS광개관,미반사경표면광활차수직도교호,기질량고우용동양방법재(100)규편상제작적반사경,단시각존재자대준V형조난이실현적문제.의거(110)규편적결정학특점,설계병제작료협각위38.94°적량개광섬정위조:일개위U형조,량측면균위{111}면;령일개시정거치상적광섬조,타시유부식출적평행사변형식갱천조성.개소료거치상구조적실현원리,대평행사변형식갱척촌진행료분석설계,병채용릉형철각보상결구실현철각보상.저량충광섬정위조결구도능구흔호지고정광섬,병실현료광섬적자대준,차제작방법간단.
