光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2006年
7期
1048-1052
,共5页
张亮%李承芳%刘文%周立兵%吴国阳%王定理
張亮%李承芳%劉文%週立兵%吳國暘%王定理
장량%리승방%류문%주립병%오국양%왕정리
集成光学%偏振分束器%反应离子刻蚀%严格耦合波理论%亚波长光栅%消光比
集成光學%偏振分束器%反應離子刻蝕%嚴格耦閤波理論%亞波長光柵%消光比
집성광학%편진분속기%반응리자각식%엄격우합파이론%아파장광책%소광비
针对传统偏振分束器窄波段、窄角度范围的不足,研制了一种在宽波段宽角度范围内具有180°分光功能的偏振分束器/耦合器.该器件基于线栅偏振器和亚波长光栅结构原理设计,利用半导体工艺的刻蚀技术制作.利用一维金属线栅对入射电磁波的偏振响应和亚波长光栅仅存在零级衍射的特性,实现了较宽的通带宽度与可接受角度范围、极大的分光角度、高消光比和低插入损耗.实验测得透射、反射消光比均大于20 dB,插入损耗小于0.5dB.通过自行搭建的微结构测试平台,测量了p、s光的透射率、反射率随入射角度变化的曲线,和严格耦合波理论模拟结果符合.深入分析了制作中的过刻蚀对性能产生的影响.
針對傳統偏振分束器窄波段、窄角度範圍的不足,研製瞭一種在寬波段寬角度範圍內具有180°分光功能的偏振分束器/耦閤器.該器件基于線柵偏振器和亞波長光柵結構原理設計,利用半導體工藝的刻蝕技術製作.利用一維金屬線柵對入射電磁波的偏振響應和亞波長光柵僅存在零級衍射的特性,實現瞭較寬的通帶寬度與可接受角度範圍、極大的分光角度、高消光比和低插入損耗.實驗測得透射、反射消光比均大于20 dB,插入損耗小于0.5dB.通過自行搭建的微結構測試平檯,測量瞭p、s光的透射率、反射率隨入射角度變化的麯線,和嚴格耦閤波理論模擬結果符閤.深入分析瞭製作中的過刻蝕對性能產生的影響.
침대전통편진분속기착파단、착각도범위적불족,연제료일충재관파단관각도범위내구유180°분광공능적편진분속기/우합기.해기건기우선책편진기화아파장광책결구원리설계,이용반도체공예적각식기술제작.이용일유금속선책대입사전자파적편진향응화아파장광책부존재령급연사적특성,실현료교관적통대관도여가접수각도범위、겁대적분광각도、고소광비화저삽입손모.실험측득투사、반사소광비균대우20 dB,삽입손모소우0.5dB.통과자행탑건적미결구측시평태,측량료p、s광적투사솔、반사솔수입사각도변화적곡선,화엄격우합파이론모의결과부합.심입분석료제작중적과각식대성능산생적영향.
