山东教育学院学报
山東教育學院學報
산동교육학원학보
JOURNAL OF SHANDONG EDUCATION INSTITUTE
2006年
6期
134-135,149
,共3页
PLD%ZnO薄膜%晶体结构%表面形貌
PLD%ZnO薄膜%晶體結構%錶麵形貌
PLD%ZnO박막%정체결구%표면형모
通过脉冲激光沉积方法在1.3Pa氧氛围,100-500℃衬底温度,Si(111)衬底上成功地制备了ZnO薄膜,我们用X射线衍射(XRD)谱,原子力显微镜(AFM),透射电镜(TEM)对其表面形貌和结构进行了测试和分析.通过测试分析得知,这些ZnO薄膜在生长温度400℃时能够获得较好的晶体结构,薄膜表面平整,晶粒均匀.
通過脈遲激光沉積方法在1.3Pa氧氛圍,100-500℃襯底溫度,Si(111)襯底上成功地製備瞭ZnO薄膜,我們用X射線衍射(XRD)譜,原子力顯微鏡(AFM),透射電鏡(TEM)對其錶麵形貌和結構進行瞭測試和分析.通過測試分析得知,這些ZnO薄膜在生長溫度400℃時能夠穫得較好的晶體結構,薄膜錶麵平整,晶粒均勻.
통과맥충격광침적방법재1.3Pa양분위,100-500℃츤저온도,Si(111)츤저상성공지제비료ZnO박막,아문용X사선연사(XRD)보,원자력현미경(AFM),투사전경(TEM)대기표면형모화결구진행료측시화분석.통과측시분석득지,저사ZnO박막재생장온도400℃시능구획득교호적정체결구,박막표면평정,정립균균.
