传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
3期
114-115
,共2页
义齿%电容式传感器%压力检测
義齒%電容式傳感器%壓力檢測
의치%전용식전감기%압력검측
详细给出了一种用微型电容式压力传感器镶入义齿基托的义齿受力检测系统.根据电容式压力传感器的工作原理,采用微机电系统(MEMS)工艺,研制出微型电容式压力传感器.通过传感器的埋入封装工艺,在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2 mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制施加压力的装置对义齿对口腔下方组织的作用力进行测试.测量结果表明:本系统能够准确地测量出当牙齿咬合时,义齿基托所承受的力和力的分布.该传感器性能良好,具有比较稳定的输入与输出关系,适用于口腔恶劣环境下测量义齿对口腔下方的组织作用力.
詳細給齣瞭一種用微型電容式壓力傳感器鑲入義齒基託的義齒受力檢測繫統.根據電容式壓力傳感器的工作原理,採用微機電繫統(MEMS)工藝,研製齣微型電容式壓力傳感器.通過傳感器的埋入封裝工藝,在與義齒基託相同材料的作底基的樹脂上挖一箇邊長為2 mm平整的方形小坑,將傳感器分佈式埋植入底基,併用自製施加壓力的裝置對義齒對口腔下方組織的作用力進行測試.測量結果錶明:本繫統能夠準確地測量齣噹牙齒咬閤時,義齒基託所承受的力和力的分佈.該傳感器性能良好,具有比較穩定的輸入與輸齣關繫,適用于口腔噁劣環境下測量義齒對口腔下方的組織作用力.
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