机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2008年
9期
123-127
,共5页
黄春霞%曹其新%付庄%冷春涛
黃春霞%曹其新%付莊%冷春濤
황춘하%조기신%부장%랭춘도
晶圆预对准台%电涡流传感器%径向跳动误差%误差补偿
晶圓預對準檯%電渦流傳感器%徑嚮跳動誤差%誤差補償
정원예대준태%전와류전감기%경향도동오차%오차보상
为了消除转台径跳误差对晶圆预对准台重复性定位精度的影响,提出径跳误差的在线检测与补偿方法.转台上方并与之一起旋转的心轴作为转台径跳的检测元件,电涡流传感器测量心轴径向距离,其测量值由固定误差和径跳误差组成,借助集合平均法或者转台径跳特性,离线求解固定误差,据此在线工作时从电涡流传感器数据中分离出径跳误差.利用该误差对激光位移传感器检测的晶圆边缘数据进行径跳误差补偿,分析误差特性,据此简化补偿算法.试验证明,径跳误差补偿方法的使用提高了系统的预对准精度,并最终使系统达到了微米级的定位精度要求.
為瞭消除轉檯徑跳誤差對晶圓預對準檯重複性定位精度的影響,提齣徑跳誤差的在線檢測與補償方法.轉檯上方併與之一起鏇轉的心軸作為轉檯徑跳的檢測元件,電渦流傳感器測量心軸徑嚮距離,其測量值由固定誤差和徑跳誤差組成,藉助集閤平均法或者轉檯徑跳特性,離線求解固定誤差,據此在線工作時從電渦流傳感器數據中分離齣徑跳誤差.利用該誤差對激光位移傳感器檢測的晶圓邊緣數據進行徑跳誤差補償,分析誤差特性,據此簡化補償算法.試驗證明,徑跳誤差補償方法的使用提高瞭繫統的預對準精度,併最終使繫統達到瞭微米級的定位精度要求.
위료소제전태경도오차대정원예대준태중복성정위정도적영향,제출경도오차적재선검측여보상방법.전태상방병여지일기선전적심축작위전태경도적검측원건,전와류전감기측량심축경향거리,기측량치유고정오차화경도오차조성,차조집합평균법혹자전태경도특성,리선구해고정오차,거차재선공작시종전와류전감기수거중분리출경도오차.이용해오차대격광위이전감기검측적정원변연수거진행경도오차보상,분석오차특성,거차간화보상산법.시험증명,경도오차보상방법적사용제고료계통적예대준정도,병최종사계통체도료미미급적정위정도요구.
