真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
2期
94-96
,共3页
季振国%许倩斐%朱玲%王龙成%芮祥新
季振國%許倩斐%硃玲%王龍成%芮祥新
계진국%허천비%주령%왕룡성%예상신
酞菁氧钛%HC1蒸气%吸收带增宽
酞菁氧鈦%HC1蒸氣%吸收帶增寬
태정양태%HC1증기%흡수대증관
用HC1蒸气对真空蒸发沉积的酞菁氧钛薄膜进行了处理,并用UV-Vis吸收谱、X射线光电子能谱(XPS)和X射线衍射(XRD)进行了分析.吸收谱结果表明HC1与酞菁氧钛蒸气作用后产生一个新的吸收峰,峰值位于820 nm附近.此峰的出现使得酞菁氧钛光吸收带(Q带)加宽进入红外波段.光电子谱分析表明酞菁氧钛薄膜的成分发生了变化,其中Cl和O的含量随HC1蒸气处理时间的增加而增加,而N和Ti的含量随HC1蒸气处理时间的增加而减小,说明HC1蒸气可与真空蒸发沉积的酞菁氧钛薄膜发生作用.XRD测试结果表明,经HC1蒸气处理后的酞菁氧钛薄膜的衍射谱中出现了若干新的衍射峰,表明酞菁氧钛分子的排列结构也发生了变化.
用HC1蒸氣對真空蒸髮沉積的酞菁氧鈦薄膜進行瞭處理,併用UV-Vis吸收譜、X射線光電子能譜(XPS)和X射線衍射(XRD)進行瞭分析.吸收譜結果錶明HC1與酞菁氧鈦蒸氣作用後產生一箇新的吸收峰,峰值位于820 nm附近.此峰的齣現使得酞菁氧鈦光吸收帶(Q帶)加寬進入紅外波段.光電子譜分析錶明酞菁氧鈦薄膜的成分髮生瞭變化,其中Cl和O的含量隨HC1蒸氣處理時間的增加而增加,而N和Ti的含量隨HC1蒸氣處理時間的增加而減小,說明HC1蒸氣可與真空蒸髮沉積的酞菁氧鈦薄膜髮生作用.XRD測試結果錶明,經HC1蒸氣處理後的酞菁氧鈦薄膜的衍射譜中齣現瞭若榦新的衍射峰,錶明酞菁氧鈦分子的排列結構也髮生瞭變化.
용HC1증기대진공증발침적적태정양태박막진행료처리,병용UV-Vis흡수보、X사선광전자능보(XPS)화X사선연사(XRD)진행료분석.흡수보결과표명HC1여태정양태증기작용후산생일개신적흡수봉,봉치위우820 nm부근.차봉적출현사득태정양태광흡수대(Q대)가관진입홍외파단.광전자보분석표명태정양태박막적성분발생료변화,기중Cl화O적함량수HC1증기처리시간적증가이증가,이N화Ti적함량수HC1증기처리시간적증가이감소,설명HC1증기가여진공증발침적적태정양태박막발생작용.XRD측시결과표명,경HC1증기처리후적태정양태박막적연사보중출현료약간신적연사봉,표명태정양태분자적배렬결구야발생료변화.
