青岛大学学报(工程技术版)
青島大學學報(工程技術版)
청도대학학보(공정기술판)
JOURNAL OF QINGDAO UNIVERSITY(ENGINEERING & TECHNOLOGY EDITION)
2003年
4期
63-66
,共4页
射频磁控溅射%纳米氟碳膜%表面形貌%表面结构%接触角
射頻磁控濺射%納米氟碳膜%錶麵形貌%錶麵結構%接觸角
사빈자공천사%납미불탄막%표면형모%표면결구%접촉각
利用射频磁控溅射法,以聚四氟乙烯为靶材,在聚酰亚胺(PI)薄膜上沉积纳米氟碳膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)观察了纳米氟碳膜的表面形貌.通过优化放电条件,在PI薄膜上得到了一层致密均匀的由纳米粒子组成的氟碳膜.利用X射线光电子能谱(XPS)研究了膜的结构及其对放电条件的依赖性.结果表明:这种纳米氟碳膜由-CF3, -CF2-, -CF- 和 -C- 4个组分构成.水接触角的测量数据表明:在PI基底上沉积纳米氟碳膜可以提高其憎水性能.
利用射頻磁控濺射法,以聚四氟乙烯為靶材,在聚酰亞胺(PI)薄膜上沉積納米氟碳膜.利用掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)、原子力顯微鏡(AFM)觀察瞭納米氟碳膜的錶麵形貌.通過優化放電條件,在PI薄膜上得到瞭一層緻密均勻的由納米粒子組成的氟碳膜.利用X射線光電子能譜(XPS)研究瞭膜的結構及其對放電條件的依賴性.結果錶明:這種納米氟碳膜由-CF3, -CF2-, -CF- 和 -C- 4箇組分構成.水接觸角的測量數據錶明:在PI基底上沉積納米氟碳膜可以提高其憎水性能.
이용사빈자공천사법,이취사불을희위파재,재취선아알(PI)박막상침적납미불탄막.이용소묘전자현미경(SEM)、투사전자현미경(TEM)、원자력현미경(AFM)관찰료납미불탄막적표면형모.통과우화방전조건,재PI박막상득도료일층치밀균균적유납미입자조성적불탄막.이용X사선광전자능보(XPS)연구료막적결구급기대방전조건적의뢰성.결과표명:저충납미불탄막유-CF3, -CF2-, -CF- 화 -C- 4개조분구성.수접촉각적측량수거표명:재PI기저상침적납미불탄막가이제고기증수성능.
