光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2004年
4期
62-67
,共6页
计量光栅%光栅制造%光栅检测
計量光柵%光柵製造%光柵檢測
계량광책%광책제조%광책검측
计量光栅作为一种重要的传感器件,广泛应用于工业生产的诸多领域.系统介绍了计量光栅的种类,重点介绍了国内外光栅制造的主要方法、光栅复制工艺以及衡量光栅质量的基本指标和检测方法.
計量光柵作為一種重要的傳感器件,廣汎應用于工業生產的諸多領域.繫統介紹瞭計量光柵的種類,重點介紹瞭國內外光柵製造的主要方法、光柵複製工藝以及衡量光柵質量的基本指標和檢測方法.
계량광책작위일충중요적전감기건,엄범응용우공업생산적제다영역.계통개소료계량광책적충류,중점개소료국내외광책제조적주요방법、광책복제공예이급형량광책질량적기본지표화검측방법.
