金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2005年
1期
31-35
,共5页
樊凤玲%唐伟忠%黑立富%吕反修%刘素田
樊鳳玲%唐偉忠%黑立富%呂反脩%劉素田
번봉령%당위충%흑립부%려반수%류소전
微波等离子体化学气相沉积%八甲基环四硅氧烷%金刚石涂层%附着力%硬质合金
微波等離子體化學氣相沉積%八甲基環四硅氧烷%金剛石塗層%附著力%硬質閤金
미파등리자체화학기상침적%팔갑기배사규양완%금강석도층%부착력%경질합금
利用微波等离子体化学气相沉积方法,以H2、CH4和八甲基环四硅氧烷(D4)为原料,在硬质合金基体上沉积了金刚石涂层.与一般只使用H2、CH4为原料时的情况相比,金刚石涂层与硬质合金基体间的附着力有了一定程度的提高.对涂层断面的成分分析表明,Si在涂层与基体间的界面处有富集的倾向,而这将有助于抑制Co对涂层附着力的不利影响,提高金刚石涂层的附着力.
利用微波等離子體化學氣相沉積方法,以H2、CH4和八甲基環四硅氧烷(D4)為原料,在硬質閤金基體上沉積瞭金剛石塗層.與一般隻使用H2、CH4為原料時的情況相比,金剛石塗層與硬質閤金基體間的附著力有瞭一定程度的提高.對塗層斷麵的成分分析錶明,Si在塗層與基體間的界麵處有富集的傾嚮,而這將有助于抑製Co對塗層附著力的不利影響,提高金剛石塗層的附著力.
이용미파등리자체화학기상침적방법,이H2、CH4화팔갑기배사규양완(D4)위원료,재경질합금기체상침적료금강석도층.여일반지사용H2、CH4위원료시적정황상비,금강석도층여경질합금기체간적부착력유료일정정도적제고.대도층단면적성분분석표명,Si재도층여기체간적계면처유부집적경향,이저장유조우억제Co대도층부착력적불리영향,제고금강석도층적부착력.
